Sistem İşlevleri ve Bileşimi:

Sistem tek vakum odalu bir yapıya sahiptir ve temel olarak vakum kazanı, magnetron püskürtme tabancaları, dönen alt tabaka tablası, ısıtma sistemi, DC güç kaynağı, RF güç kaynağı, gaz akış kanalları ve kontrolcüleri, vakum pompaları, su soğutma sistemi ( chiller) ve ince film kalınlık ölçüm monitöründen oluşmaktadır.

Sistem metal, oksit, karbür, nitrür ve dielektrik filmlerin vb. hazırlanmasında kullanılabilir. Sistemin ana bileşenleri ve teknik göstergeleri

Püskürtme odasının nihai vakum derecesi: ≤3.9x10-5Pa (ısıtma ve gazdan arındırma sonrası); Sistem vakum sızıntı oranı : ≤5.0x10-6Pa.l/s;

Sistem atmosferden hava pompalamaya başlar: püskürtme odası 30 dakikada 1.2x10-4 Pa'ya ulaşabilir;

 

 

Vakum Kazanı - 1 Set

Vakum odası, 400mmx400mmx400mm boyutlarında kare kutu şeklinde bir ön kapı yapısı ve tamamen paslanmaz çelik bir yapıdır. 100~150°C'ye kadar dahili olarak pişirilebilir. Paslanmaz çelikten yapılmış, argon kaynaklıdır. İç ve dış yüzeyi elektrokimyasal olarak parlatılmış ve pasifleştirilmiştir. Arayüz metal bir conta veya floro kauçuk bir halka ile kapatılmıştır.

Manuel açılır ön kapağa sahiptir. Püskürtme tabancaları (Sputtering guns) kazanın alt tabanına monte edilmiştir. AÖrnek tutucu döner tablası üst taraftadır.

Flanş arayüzlerinin ve vakum kazanına bağlı diğer ekipmanlar:

1.1. CF100 flanş arayüzü: 1 adet (gözlem penceresi); CF63 flanş arayüzü: 1 adet (gözlem penceresi);

1.2. CF16 flanş arayüzü: 2 adet (1 hava giriş borusu, hava tahliye valfi);

1.3. CF150 flanş arayüzü: 1 adet (moleküler pompaya bağlı);

1.4. RF300 flanş arayüzü: 1 adet (magnetron hedeflerini ve hedef saptırma plakalarını takmak için kullanılır)

1.5. RF300 flanş arayüzü: 1 adet (numune tablası için kullanılır)

1.6. CF35 flanş arayüzü: 5 adet (yüksek vakumlu iyonizasyon ölçere bağlı, yan emme portu, seramik kurşun tel, 2 yedek);

1.7. CF40 flanş arayüzü: 2 adet (yedek), KF25 flanş arayüzü : 1 adet ( yedek), 1" besleme girişi : 2 adet

Magnetron Püskürtme Tabancaları ( Gun ) - 3 Set

2.1. Target boyutu: 2" (Ф50mm)

2.2. Kalıcı mıknatıslı target (bunlardan biri manyetik malzemeleri püskürtebilir), RF püskürtme, DC püskürtme ile uyumludur ve gunlar su soğutmalıdır;

2.3. SMC döner pnömatik kontrol bölme bileşenleri: 3 set;

2.4. Target yukarı doğru püskürterek kaplama yapar ve gunların açısı ayarlanabilir. Her gun bağımsız/sıralı/ortaklaşa çalışabilir. Co-sputtering işlemi yapılabilir.

2.5 500 DC güç kaynağı 1 takım;

2.6 , 500W tam otomatik ayarlı RF güç kaynağı :  2 set

2.7. Magnetron hedefi ile alt tabaka arasındaki mesafe ayarlanabilir ve ayar mesafesi: 90~130 mm'dir.

Döner Örnek Tablası - 1 set

3.1 Substratların boyutu ve miktarı: Maksimum çapı 100 mm olan 1 numune ya da daha küçük örnek tutucuları ile çok adetli örnekler yüklenebilir. Küçük örnekler için çeşitli boylarda tutucular verilmektedir.

3.2. Substrat ısıtma telleri aracılığıyla ısıtılır. Isıtma sıcaklığı oda sıcaklığından 600°C'ye kadar ısıtılabilir. Termokupl kapalı döngü geri bildirimi ile kontrol edilir ve ayarlanabilir. -1000V yüksek gerilime dayanacak şekilde yalıtılabilir ve kapatılabilir.

3.3. Alt tabakanın devri, hız ayarlı bir motor tarafından tahrik edilir ve dönüş hızı, 0 ila 30 rpm arasında sürekli olarak ayarlanabilir.

Gözlem Penceresi ve Flanş Arayüz Parçaları

4.1. CF100 cam pencere: 1 adet; CF63 cam pencere: 1 adet;

4.2. CF35 seramik sızdırmazlık flanşları: 2 (aydınlatma ve iç pişirme kabloları); 4.3. Kör flanş: CF16: 1 adet; CF35: 2 adet.

 

4.4. Anti UV gözlem penceresi: 1 adet

Isıtma Sistemi - 1 set

Isıtma sistemi, örnek tablasını ısıtmak için vakum odasının üst kısmında bulunur. Sıcaklık kontrolü güç kaynağı, kapalı devre kontrolü sağlamak için bir termokupl tarafından kontrol edilir. Sistem bir ısıtıcı ve bir ısıtma ve sıcaklık kontrol güç kaynağından oluşur. Isıtma güç kaynağı, Japonya'dan ithal edilen bir sıcaklık kontrol ölçer ile donatılmıştır. Sıcaklık kontrol yöntemi PID otomatik sıcaklık kontrolü ve dijital ekrandır; Numune ısıtma sıcaklığı: oda sıcaklığı ile 600°C aralığında sürekli olarak ayarlanabilir;

Gaz Akış Kontrolörleri ( MFC)

6.1. 100SCCM Argon, 20SCCM Oksijen, 50SCCM Azot, 50SCCM Metan CF16 elektrikli stop vanası, boru hatları, konektörler vb.: Toplamda 4 kanal

6.2 DN16 pnömatik doldurma valfi, DN16 pnömatik boşaltma valfi, boru hatları, konektörler vb.: 4 kanal

Vakum Ünitesi, Vanalar ve Boru hatları

7.1. Kompozit turbomoleküler pompa ve değişken frekans kontrollü güç kaynağı: 1 set,  700 l/s kapasite

7.2. Mekanik pompa: 1 adet 32.4m3/h

7.3. DN40 elektrikli stop vanası: 1 set

7.4. Mekanik pompa ile vakum odası arasındaki bypass boru hattı

7.5. CC150 elektrikli sürgülü vana: 1 set (Bileşik moleküler pompayı vakum odasından izole etmek için kullanılır);

7.6. DN40 yandan çıkış açılı valf: 1 set

7.7. Diferansiyel basınç valfi: 1 set

Kurulum ve Sistem Bileşenleri

Altı adet yük taşıyan tekerlek sabitlenebilir veya hareket ettirilebilir.

Sistem elektronik aksamı ve rack kabin gövdesinin tamamı, elektromanyetik dalgaları ve statik elektriği azaltmak için anti-manyetik ve anti-radyasyon işlemine tabi tutulur.

Sistem Kullanımı ve Kontrolcüsü

Atmosfer basıncından 10-9 Torr vakuma kadar okuma kapasitesine çift kanallı soğuk katot geniş ölçüm aralıklı vakum göstergeleri  ve kapasitans manometresi ile donatılmıştır.

Vakum seviyesi sistemin ana ekranı üzerinden okunabilir. Sistem, tüm fonksiyonları kontrol eden PC kontrol ünitesi ve LabView kontrol programına sahiptir.

Sistem deneysel kaplama modu ve tam otomatik kaplama modu ile donatılmıştır.

Deneysel kaplama modunda tek tıkla vakumu başlatabilir ve çalışma vakum seviyesine ulaştıktan sonra kaplama parametrelerini manuel olarak ayarlayabilirsiniz. Deneyden sonra tek tıklamayla otomatik olarak kabin basıncını artırarak genel çalışma süresinden tasarruf sağlar.

Tam otomatik kaplama modunda sistem, önceden ayarlanmış proses menüsüne göre kaplama programını otomatik olarak çalıştırabilir. Bu mod, küçük seri üretim ve kaplama prosesi stabilitesi ve tekrarlanabilirlik deneyleri için uygundur. Şu anda sistem tamamen kapalı döngü kontrol durumundadır.

 

Sistem, bilgisayarla gerçek zamanlı iletişim sağlar, vakum derecesini ve ısıtma sıcaklığı PID ayar ayarlarını görüntüler ve kaydeder.

Sistem, bilgisayarla eş zamanlı iletişim kurar, DC güç kaynağı ve RF güç kaynağı güç parametresinin ayarlanması ve görüntülenmesi, gaz akışı kontrolü ve ayarlanması, işlem menüsünün formüle edilmesi ve depolama için çeşitli işlem parametrelerinin otomatik olarak kaydedilmesi ve ayarlanmasını sağlar. Sistem, proses gazı basıncı stabilizasyonunun kontrolünü ve MFC'nin akış hızının ayarlanmasını sağlar.

Bilgisayar, bölme durumunu, örnekleme hızını vb. görüntüleyecek şekilde ayarlanmıştır.

Çift Kanallı Kuvars Kristal Kalınlık Ölçüm Monitörü ve Su Soğutma Sistemi

Ölçülebilir Film Kalınlığı : 0~99μ9999Å; 1 Kalınlık çözünürlüğü: 1Å;

Hız görüntüleme çözünürlüğü: 0~9999,9 Å; Kontrol doğruluğu: 1 Å;

İzleme süresi görüntüleme aralığı: 1 dakika ila 99 saat;

Chiller - 1 Set

Yağsız ve Sessiz Çalışan Hava Kompresörü - 1 set